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焦点DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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2026-07-21 07:43 3534 查看更多

娱乐“破圈”协作,通关更便捷

  全国哪个区域占中国经济总量的比重最高?答案指向长三角区域。

  这片区域占国土面积的1/26,承载了中国1/6的人口,1/4的GDP,是全国最具活力的城市群之一,也是中国外贸进出口的重要地区。

  深入推进长三角海关特殊货物检查作业一体化改革、积极助推省内水运口岸融入长三角世界级港口群、量身定制监管方案服务大宗资源性商品安全稳定进口……近年来,我省不断深化长三角海关一体协同,为增强长三角地区国际竞争合作新优势注入新动能。

  打通监管堵点护航高新技术企业

  科技创新“领先一步”,产业创新“领先一路”。

  近年来,我省抢抓新一轮全球科技革命和产业变革机遇,实施创新驱动发展战略,一批集成电路、新型显示、人工智能等重点产业企业逐渐成为创新驱动的主引擎、转型升级的主抓手、高质量发展的主动力。有企业反映,在以往的通关过程中,进口的精密设备、仪器、原材料等特殊货物命中布控需要查验的,不宜在口岸开拆检查,影响货物正常通关。

  “在了解企业诉求之后,我们经过实地走访调研,试点长三角特殊货物检查作业一体化模式,在确保监管到位、风险可控的基础上,通过建立强化事前评估备案、规范事中监管检查、加强事后闭环管理等一整套规范制度,进一步优化长三角海关特殊货物的检查作业模式,在信用管理和风险甄别基础上,借助移动查验设备和信息化系统,将原布控在口岸实施的查验作业改为实施跨直属海关的口岸和目的地分段、分类检查作业。”合肥海关口岸监管处有关负责人介绍,这一模式是围绕长三角一体化发展部署,针对高新技术企业进口设备和产品特点,以“管得住、放得开、效率高、成本低”为目标研究推行的,解决了长三角集成电路、平板显示制造等一大批企业通关过程中的痛点和难点问题,优化口岸营商环境。

  前不久,合肥海关所属庐州海关关员在相关公司对其进口原材料开展目的地检查作业,该批货物采取了长三角海关特殊货物检查作业一体化模式进口,货物总值约235万元。

  “该模式实施之后,大大提高了公司进口货物的通关效率,并降低了通关成本。据统计,在此模式下,公司每票报关单通关时间压缩了3天至5天,同时也避免了口岸开拆对货物的损害风险,为货物到厂后产线运营提供了有效保障,也为企业发展增添了信心。”该公司物流总监陈恒泰说。

  合肥海关政治部主任吴向前表示,近年来,深入推进长三角海关特殊货物检查作业一体化改革,与上海海关等长三角海关协同配合,将“口岸外观查验+目的地综合处置”两段式布控协同处置机制适用范围扩大到企业集团、海运以及出口等环节,有效解决高新技术货物不能在口岸开拆查验的实际困难。2022年该模式已经由安徽省推广到长三角和全国其他省市。今年一季度,已运用该模式保障1534万元进口设备及时投入研发生产。

  通关提速增效优化口岸营商环境

  口岸是对外开放的重要通道和窗口,也是区域开放的重要平台。

  安徽到海的距离有多远?地图上方寸之间,实则数百公里。但安徽拥有长江、淮河等“黄金水道”,安庆、池州、铜陵、芜湖、马鞍山5个一类水运口岸,合肥、蚌埠2个二类水运口岸。记者在走访中发现,通过水运口岸进出口是不少外贸企业的主要选择之一。

  今年3月,一艘名为“江海通188”长江内河支线船舶顺利抵达上海洋山港,经海关放行后,船上装运的3个集装箱、3150台空调即可搭载远洋货轮出发前往美国。这也标志着“联动接卸”监管模式在安徽一类水运口岸实现全面铺开。

  “联动接卸”,即以远洋航线集聚、超大规模集装箱船停泊的上海洋山港为中心,与周边长三角地区的港口开展联动,进出口货物通过驳船在洋山港以及相关港口之间进行水路运输,手续办结后即可在洋山口岸直接提离或出境,实现进出口货物“一次申报、一次查验、一次放行”。

  “我们持续深化与上海海关、省港航集团的联系配合,将洋山港—芜湖港‘江海一港通’联动接卸监管模式在全省6个水运口岸全面铺开,保障进出口货物在洋山港和省内港口间‘一次申报、一次查验、一次放行’,企业每标箱货物国内段运输成本降低30%、通关时间平均节约50%。”吴向前介绍,今年一季度“联动接卸”货物总值达1.08亿元。

  “以前,需要先把货物运到池州港,申报转关后通过费用较高的陆运等方式,运到洋山港装船出海。中间要辗转多个港口,多次起卸,运输成本太高了。”位于池州市高新区的安徽鸿叶集团是一家专业从事竹制品深加工和出口销售的国家农业产业化重点龙头企业,该公司外贸负责人石天玉表示,如今,在池州港就可以抵港直装,驳船到洋山港联动接卸,少了倒箱环节,简化了转关流程,缩短了上大船的时间,“去年我们箱量和贸易额分别增长16%和21%,今年肯定更好”。

  今年以来,合肥海关从保障重点区域产业链供应链循环畅通、加快企业急需货物通关、提高进出境物流效率等多方面着手,进一步优化口岸营商环境,提升跨境贸易便利化水平,促进外贸保稳提质。

  “我们积极对接上海洋山港、外港,推广‘离港确认’监管模式至全省全部7个水运口岸,企业可在未完成理货、未确定境内运输工具的情况下申报转关,内支线船舶班次选择更加灵活,压缩货物转关办理时间1至2天。”吴向前说。

  量身定制方案推动外贸保稳提质

  跨越1.6万公里来自厄瓜多尔米拉多铜矿,如何安全稳定地实现进口?

  据了解,出于安全考虑和环保要求,米拉多铜精矿采用吨袋包装,从厄瓜多尔马查拉港通过海轮运输至张家港、南通等口岸,再由长江驳船运输到铜陵有色。在原有监管模式下向海关申报,口岸海关对货物实施逐袋取样。而在该模式之下,通关时间长且检验取样易破损撒漏,运输途中损耗较多。

  “为解决铜陵有色境外自有矿山进口铜精矿通关时效长、成本高的‘痛点’,我们联合南京海关共同推动优化铜精矿检验监管模式,将部分检验监管项目调整到铜陵港进行,口岸停留时间由15天压缩到4天。”吴向前说,与传统模式相比,在确保企业切实履行主体责任和配合义务的前提下,通过加强境外矿源和装运前检验管理,前推后移检验监管链条,将在口岸海关实施的部分检验项目调整至目的地实施,从而最大限度压缩通关时长,减少企业通关成本。

  统计数据显示,一季度,合肥海关保障13万吨铜精矿通过优化模式进口。

  长三角一体化发展上升为国家战略以来,朝着打造具有全球影响力的世界级城市群发展目标,一体化发展一直在加速。在这一过程中,海关如何“破圈”协作,增强长三角地区国际竞争合作新优势?

  合肥海关有关负责人表示,将牢牢把握“一体化”“高质量”的要求,进一步推进安徽与长三角地区水水联运水陆联运,畅通物流渠道;加强与长三角海关数据共享,发挥科技引领作用,建设共享共用互通的智能化监管系统;建立定期工作会商机制,协调解决企业在长三角海关进出口通关问题等。

  “我们将落实落细‘放管服’改革实施方案,积极深化跨部门、跨关区协作配合,做好重点产业链供应链企业全流程通关保障服务,为长三角高质量发展注入新动能。”合肥海关有关负责人说。

  (记者 何 珂)

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2026-07-21 06:53 7935 查看更多

休闲闻名遐迩的“六尺巷”,是条什么巷子?

  安徽桐城有一条六尺巷。

  宽不过两米,长不过百米,却被称为“最宽”的巷子。

  一条小巷为啥被誉为“最宽”巷子?这是因为,它见证了一个关于礼让的故事。

  1. 让他三尺

  巷口太湖石上镌刻的一首诗,道出了六尺巷的由来。

  “一纸书来只为墙,让他三尺又何妨。长城万里今犹在,不见当年秦始皇。”

  这首诗的作者,是清朝康熙年间的宰相张英。

  张英的老家在桐城,张英家的老宅旁边住着一户姓吴的人家。

  两家之间有一块狭长的空地。吴家重修房屋的时候,就想把这块地占了。

  这下,张家人不乐意了。两家就吵了起来。

  这时,张家人想到了在京城做大官的张英。于是,张家人给张英写了一封信,快马加鞭送到京城。

  结果张英收到信后呵呵一笑,修书一封,回了上面那首诗。

  于是张家人在张英的指示之下,往后退了三尺。

  吴家一看,张家这么谦让,反倒显得我们老吴家不讲理。不行,你敬我三尺我也要敬你三尺。

  就这么着,两户人家中间便空出了个六尺巷来。

  2.父子宰相

  张英可能有的人不太熟悉,可是如果提到张廷玉,很多人就不陌生了。

  在有关清朝前期的电视剧里,几乎每一部都有张廷玉的影子,他可是名副其实的三朝元老。

  而这个张英就是张廷玉他爹。

  这父子俩不仅官做得大,更难得的是品行、学识也很出众,被称为“父子宰相”。

  这父子俩都给自己的后人撰写了一部家训,告诫子孙为人要善良、恭谦礼让等。

  曾国藩就特别推崇张英的《聪训斋语》,甚至亲自给弟弟和子侄辈每人找来一本,让他们没事就看。感兴趣的也可以找来读一读。

  到了现代,张英的十二世孙张耘,是六尺巷社区党总支书记。他在工作中就常用老祖宗的故事调解家长里短、矛盾纠纷,效果还相当不错呢。

  3. 最宽巷子

  如果你去桐城,在街上随便转转,便会发现随处可见六尺巷的影子。

  马路上,有“争一争行不通,让一让六尺巷”的标牌;

  楼宇间,有“礼让三分,心明眼亮;六尺有涯,心宽无界”的漫画;

  学校里,传扬着“包容无限大,和谐诗中藏”的歌谣。

  “让墙为邻”的故事,以不同的形式仍然在这里上演。

  六尺巷本是一条不足2米宽的窄巷,现在却被称为“最宽”的巷子,就是因为一个“让”字。

  去年全国两会期间,“六尺巷调解法”被写进最高人民法院工作报告。

  现在的六尺巷,已经成为一个著名的景点,吸引了无数游客前来参观。

  如果你去桐城旅游的话,一定要去六尺巷走走看看。

  你知道清朝的六尺是多少米吗?现在呢?去查一查吧!

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2026-07-21 06:41 1215 查看更多

焦点MTB:煤矿竞拍冰火两重天,煤价下一步藏不住了!

3月2日-5日陕西大型煤矿竞拍成交价格表(点击图片查看)

咱先说“火”的那一面。大家看看上图,陕蒙那几个年产千万吨煤炭的国企大矿,特别是高卡、低硫的优质块煤,竞拍现场那叫一个激烈!不仅没跌,甚至还有溢价十几块成交的。为啥?说白了就是部分终端年前没备货、刚需采购必须下手,咬着牙也得往上加钱抢。华南进口煤价格继续涨,国际海运费一周上涨1.25美元/吨,进口煤倒挂,印尼减产和斋月持续影响中。

但你再转头看看“冰”的那一面。简直没眼看。那些普通品种、低卡煤民营小矿,起拍价和市场报价一降再降,照样大面积流拍!下游买家现在一个个鬼精鬼精的,魏桥电厂最新通知:明天(3月6日)开始,七电下调5元。巴图塔、燕家塔站台收购价下调10元/吨求购。很多大型终端用煤工厂全在玩“拖字诀”——就等你降价?你不降价,那我再等等,反正我不急,总有人想割肉出货。

3月5日山西炼焦煤竞拍成交情况汇总

不过,随着工厂复工复产,电厂日耗已逐渐回升,3月4日,沿海六大电合计库存1360.6万吨(+4.1),日耗69.9万吨(+0.17),可用天数19.4天。钢厂、焦化厂本周已开始积极备产,原煤料采购量开始加大,焦煤矿报价出现上涨。这从本周山西地区炼焦煤竞拍成交率和成交数量上升就可以看出,煤炭宝3月5日会员日报显示,山西挂牌65000吨,成交55000吨,所有煤种上涨13-23元。

近日,随着中东地区地缘冲突持续升级,国际油气价格迎来飙涨。有业内机构指出,如果天然气价格持续上涨,或将带动买家由天然气转向煤炭,从而支撑东北亚地区的动力煤需求。

业内专家观点

个人认为,动力煤竞拍要看榆林地区国有大矿才比较有参考价值,看内蒙地区价格则要看神华巴图塔站台的收购价。焦煤行情则要看山西竞拍结果。

煤炭宝(MTB)最后说一下重点:

短期来看,两会召开大家都在观望,都想看看2026年煤市政策方面如何定调,价格应该不会大起大落,以窄幅震荡为主,但两会后,产地煤矿陆续复工,随着非电需求释放,加上国际煤价的支撑,3月煤价整体大概率还会保持上涨势头,不过电厂现在高库存、日耗上升缓慢也会压着涨幅。目前,国内煤价走势还未定调,大家还请稍安勿躁。



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2026-07-21 05:36 3419 查看更多

焦点华能旗下上市公司内蒙华电并购重组项目圆满完成!

2月4日

中国华能集团有限公司

旗下上市公司内蒙华电公告

以4.94元/股的价格发行5.36亿股

募集权益资金26.5亿元

标志着内蒙华电并购重组项目

圆满成功

这是内蒙华电在集团公司

总体资本布局下的一次转型突破

也是集团公司不断提高

所属上市公司质量

增强上市公司核心竞争力的重要举措

本次项目是内蒙华电以53.36亿元价格向控股股东北方公司收购合计装机容量160万千瓦的优质风电资产控股权,并同步开展配套融资。在融资发行阶段,4.94元/股的发行价格相较发行基准日前20日均价溢价近7%,相较发行前一交易日收盘价格溢价近4%,是近年来资本市场电力行业中唯一一例实现市场化溢价发行的项目,创造了电力行业上市公司定向增发最佳实践案例,彰显了中国华能优秀的公司治理水平,体现了市场投资者对华能品牌价值的充分认可。

拓展阅读

攻坚破局启新程

绿色发展谋转型

随着26.5亿元募集配套资金全额到账,内蒙华电并购重组项目正式圆满收官。本次资本运作直面多重挑战,顺利通过监管机构多维度、全方位的审核。这是内蒙华电在集团公司战略引领下,在北方公司全力支持下攻坚克难,以精准施策逐项破解难题的创新成果,充分彰显了中央企业的责任担当与市场化运作的过硬实力。本次并购重组完成后,内蒙华电也拉开了新能源转型和煤电协同发展的新篇章。

落实集团战略

多方协同攻克多重难关

本次重组是中国华能进一步提高上市公司质量、优化国有资产布局的重大资本运营项目。中国华能高度重视、精心组织,有效应对税收政策变化等难关,统筹推进方案优化、专项路演、注册审批、时机选定等重点工作,为实现成功发行奠定扎实基础。锚定转型需求,抢抓政策窗口推进重组方案落地。在“双碳”目标驱动下,内蒙华电紧扣政策导向与自身转型需求,本着实事求是的原则,对股东、对市场负责任的态度,压实估值,制定精准契合政策要求的交易方案,使募集资金规模最优、交易架构最合理,保障本次重组稳步推进、高效落地。精准传递公司价值,股东大会高票通过重组议案。为保障中小股东利益,实现更好的发行效果,内蒙华电在全国多省市区域开展全覆盖专项路演,获得了市场的充分认可,最终重组议案获10亿股同意票支持,创下公司近年来中小股东最高投票率,也为实现优异的发行结果打下了坚实基础。

新能源装机跃升

绿色转型发展取得重要突破

绿色转型是高质量发展的必由之路。本次重组后,内蒙华电新能源装机规模跃升至550万千瓦,控股新能源装机占比由15%提升至23%,实现了整体战略突破,显著提升核心竞争力,进一步强化了公司“火电稳基、新能源增收、煤炭保供”三足鼎立、协同发展的战略布局。

此次成功发行充分说明,传统发电企业唯有主动锚定绿色发展方向、持续强化核心能力、坚守合规经营底线,方能在能源变革浪潮中破局突围。未来,随着新增风电资产高效运营及业务协同深化,内蒙华电高质量发展之路将越走越宽,持续巩固区域能源核心地位,为行业转型提供可复制、可借鉴的宝贵经验。

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2026-07-21 05:16 41656 查看更多

娱乐“菲”常幸福·快乐“童”行!淮海中路街道举行欢庆“六一 ”活动

讯(记者 姚丽萍)菲仕兰“淮海家·零距离家园”社区爱心列车发车啦!孩子们手持“车票”,踏上承载着关爱、祝福和欢乐的“幸福列车”。6月1日,黄浦区淮海中路街道携手荷兰皇家菲仕兰共同举办“菲常幸福 快乐童行”主题活动,为孩子们带来欢乐盛宴,深化社企合作,共同为构建“全龄友好”社区贡献力量。

淮海中路街道举行欢庆“六一 ”活动 黄轩供图

活动现场,家长们带着孩子每完成一个游戏任务,就可以在“车票”上敲章,集齐所有章印即可领取精美礼品。此外,完成所有任务的家庭还有机会参与品牌方的爱心捐赠行动,将爱心传递给更多需要帮助的人。活动现场设置了“传递爱、传递美好”的爱心墙。参与活动的嘉宾们纷纷将自己的姓名写在绿植标签上,或将祝福语一同展示在墙上,用文字或绘画传递对孩子们的关爱和祝福。爱心墙,就成了凝聚社区、企业、家庭共同关爱未成年人的靓丽风景。

据悉,“淮海家·零距离家园”所在淡水路社区是全国首批完整社区建设试点之一,上海市共有五个社区入围。在完整社区的建设标准中,明确提出要“聚焦群众关切的’一老一幼’设施建设”,要实现“幼有所育、弱有所扶”。“菲”常幸福·快乐“童”行主题活动不仅为孩子们带来欢乐,更展示了淮海中路街道在构建“全龄友好”社区方面的积极探索和成果。

据淮海中路街道党委书记陆晓钧介绍,街道通过改造社区微空间、开办爱心寒(暑)托班、搭建儿童参与街区治理的平台等举措,为未成年人提供全方位的服务和关爱;作为社区基金会的重要参与者,菲仕兰等爱心企业的加入让“1+4+N”未成年人服务体系更加完善。

菲仕兰中国企业事务总监黄芳说,菲仕兰秉承“自然滋养”的理念,在中国积极践行企业社会责任,“六一”幸福列车圆满启程,希望未来能协助淮中街道一起把幸福列车开入更多的家庭,为打造“全龄友好”社区贡献力量。

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2026-07-21 05:15 82 查看更多

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